產(chǎn)品型號

帶滑動法蘭三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-5-III-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有冷系統(tǒng)， 爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。

4 、采用三個獨立 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    7KW （40A 保險絲）

2、石英管： 外徑 ?125mm ，內(nèi)徑 120mm ，長 1400mm，帶有一對真空密封法蘭

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區(qū)域： 溫區(qū) I 長 229mm ，溫區(qū) II 長 457mm ，溫區(qū) III 長 229mm ，總長 915mm

5、恒溫區(qū)域： 三個溫區(qū)為同一溫度時為 625mm ，溫區(qū) II 為 110mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、熱電偶： K 型

10、浮子流量計： 3 個， 量程 0-100ml/min 、0-160ml/min 、0-250ml/min

11、數(shù)字真空計： 10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 管式爐 1080mm×430mm×600mm；重量： 70kg