產(chǎn)品型號

1100℃多工位管式爐 GSL-1100X-S

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm，承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

爐體結(jié)構(gòu)

    爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，減少能量損失。

高度可調(diào)的不銹鋼外殼。

背部可以調(diào)整的三個旋鈕，靈活改變爐子的垂直位置（從控制 盒平臺到爐膛下端）。

多種配置適用于各種熱處理需求。

多種位置可調(diào)          可用作立式馬弗爐     固定旋鈕進(jìn)行位置可調(diào)

認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過 UL/MET/CSA/CE 認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司

保證單臺設(shè)備 通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證。

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，  石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成 的損害不在保修范圍內(nèi)。

技術(shù)參數(shù)

1、電壓： AC220V, 50Hz

2、功率：1.5KW

3、加熱區(qū)：300 mm

4、工作溫度: 1000℃

5、溫度: 1100℃（小于 30min）

6、推薦升溫速率:≤ 10℃/min

7、爐管尺寸及材質(zhì)石英管Φ 50×610mm。

包括氧化鋁管堵用于阻止來自內(nèi)部管子的熱輻射。 （管堵在加熱前必須插入 爐腔）

8、溫控系統(tǒng)

全自動 PID 自整定功能

30 段可編程控制器，方便客戶按自己要求設(shè)定升溫曲線

設(shè)有超溫及斷偶保護(hù)

控溫精度: ±1 ℃

K 型熱電偶

9、

9/加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

10、密封法蘭及真空連接

不銹鋼密封法蘭(左端進(jìn)氣 口為 1/4”軟管接口, 右端抽氣口為 KF-25 接口)

標(biāo)準(zhǔn)的 1/4 “帶針閥的 寶塔嘴接口

為了可以使用高壓氣體， 您可以用 1/4 ＂軟管接頭替換標(biāo)準(zhǔn)寶塔嘴管接頭

11、真空系統(tǒng)

包括雙旋片機(jī)械泵 (220V, 226 L/m) 油霧過濾器& KF-D25 不銹鋼真空波紋管和 KF25 卡箍

真空度可達(dá)到 1E-2 Torr ( 50 m-torr) （參考值）

分子泵： 1E-5  Torr （參考值）

12、壓力測量/檢測：機(jī)械式壓力表，測量壓力范圍為-0.1 至 0.15Mpa。

產(chǎn)品規(guī)格

260×380×400mm (DxHxW)

重量： 45Kg

可選配件

1、 石英管堵（可提高爐管內(nèi)部真空度及潔凈度）。

2、歐陸型溫控儀表， 控溫精確度可以提升到±0.1℃（具體詳情請致電我公司銷 售）。

3、兩種不銹鋼法蘭可供選擇：

2"默認(rèn)法蘭， 帶 1/4”寶塔嘴接頭， 1/4＂管通孔（用于 1/4＂外徑熱電偶插件） 和 KF25 真空接

1 ＂法蘭沒有熱電偶插頭

4、擋板閥連接真空系統(tǒng)

5 不銹鋼波紋管（為了獲得更快更好的真空度，我們推薦使用）

6、快速連接法蘭

7、帶有數(shù)顯真空計(jì)和機(jī)械泵系統(tǒng)的爐子

8、KF25 轉(zhuǎn)接頭替換標(biāo)準(zhǔn)寶塔嘴接頭（為了達(dá)到高真空）

1 英寸法蘭               2 英寸法蘭

9、真空連接：

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)， 其測量范圍為 3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測 量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

KF25 不銹鋼波紋管

KF25 快速裝卸卡箍

10、真空系統(tǒng)

應(yīng)

用

注

意 

事

項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高， 所以向爐管內(nèi)通入氣體時， 氣瓶上必須安裝減壓閥， 建議在本公 司

選購減壓閥， 本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在

常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊